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About ESCs

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Whenever it is about developing an E-Chuck for a new application,

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improving an existing application according to a Continuous improvement Plan (CIP), or simply securing your Electrostatic Chuck source, C-Click approach is always global. All parameters, technical, economical and industrial are taken into account.

At the end of the day, your process efficiency, quality and repeatability strongly rely on parameters related to the ESC itself and to the surrounding devices and fixtures.

Our approach

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TECHNOLOGIES

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SUBSTRATE

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PROCESSES

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FOR WHO

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Based on a strong culture of optimization, we focus on your need first (the functionality), but always take into account all the aspects of the topic.

This includes, and is not limited to :

Technical performances

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Quality management

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Logistics

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Maintainability, reworkability

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Flexibility & improvements

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ESC Functionalities

process chamber

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Wafer
Clamping

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Wafer
Thermalization

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Wafer
electrical state

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HV Power Supply

(for monopolar, bipolar, multipolar)

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Hot Source (Heater)

One or more zone
Embedded or stand alone

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Coupling Gas / Cooling Gas / Back Side Gas

Supply & monitoring

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RF / Pulsed DC

introduction & insulation

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Clamping Signal

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Cold Source (Cooling)

One or more zone
Embedded or stand alone

Temperature monitoring & regulation

RTD / TC / IR

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Wafer grounding & ESD

introduction & insulation

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HV Connectors / Feedthroughs

Pedestal

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Connectors / Feedthroughs

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Connectors / Feedthroughs

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Interfacing with the rest of the world

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Capex

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Process Monitoring

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COO

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Wafer Integrity

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Cleaning / Particles /
Metal conta / contact ratio

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Tool Uptime & throughput

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Clamp / declamp ;
MTBF ; MTTR ;
Plug & Play

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Field Service

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Supply Chain

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JIT ; Reworkability ;
Differentiation postponement ;
standardization

About ESCs

Whenever it is about developing an E-Chuck for a new application,

improving an existing application according to a Continuous improvement Plan (CIP), or simply securing your Electrostatic Chuck source, C-Click approach is always global. All parameters, technical, economical and industrial are taken into account.

Our approach

Based on a strong culture of optimization, we focus on your need first (the functionality), but always take into account all the aspects of the topic.

This includes, and is not limited to :

ESC Functionalities

Wafer Clamping

Wafer Thermalization

Wafer electrical state

HV Power Supply

Hot Source (Heater)

Coupling Gas / Cooling Gas / Back Side Gas

RF / Pulsed DC

Clamping Signal

Cold Source (Cooling)

Temperature monitoring & regulation

Wafer grounding & ESD

HV Connectors / Feedthroughs

Pedestal

Connectors / Feedthroughs

Connectors / Feedthroughs

Interfacing with the rest of the world

Capex

Process Monitoring

COO

Wafer Integrity

Tool Uptime & throughput

Field Service

Supply Chain

Technical support

Wafer
Clamping

Wafer
Thermalization

Wafer
electrical state