Le nitrure d’aluminium (symbole chimique : AlN) est un semi-conducteur III-V à large bande interdite (6,2 eV)4. C’est un matériau réfractaire et céramique qui offre la rare caractéristique d’associer à l’isolation électrique à une très grande conductivité thermique à température ambiante (allant de 25 à 319 W.m-1·.K-1 suivant sa microstructure et sa forme (monocristal)5, film mince6, nanofil7…). Il présente, de plus, une grande résistance à l’oxydation et à l’abrasion. Enfin, ce matériau présente des propriétés piézoélectriques intéressantes : un coefficient piézoélectrique d33 compris entre 3.48 et 5pm.V-19 et un coefficient de couplage électromécanique voisin de 7%10.
